（1）洁净室内要适时地进行清洁，采取防尘措施，如保持密封性能，保持工作人员清洁，穿戴清洁隔离服、鞋帽、手套、口罩，减少室内人数，减小活动范围等。每晨各手术间用0.5%含氯消毒液擦拭物品表面及地面。每周清洁一次，包括墙面、天花板、地面。手术室无影灯上的玻璃盖片应每月擦洗一次。

（2）准备的洁净室清扫材料和工具。别的区域先打扫。所有暴露在外的设备、桌子、工具和椅子等的表面用湿的洁净室擦布擦干净。带玻璃的壁板和门用液体清洗剂清洗，然后用擦布擦掉余下的水。墙和天花板用非常稀的中性清洗剂擦洗，然后冲洗，用海绵擦掉余下的水。地板应用浸过清洁剂的拖把拖洗，再用没浸过清洁剂的拖把拖几分钟，然后用海绵拖把或能吸水的真空吸尘器吸掉余下的水。以上所有的清洁过程完成后，用真空吸尘器清扫整个洁净室。

（3）洁净室的日常管理立即除掉所有可见的尘粒或污染物每个班结束后清洁粘垫，一次性粘垫一日更换撕掉。

       凡是房建类设计规划，无论是哪类用房装修，都是在确保一系列基本配置的基础上进行规划及设计。半导体行业洁净车间也不例外，涉及此类范畴的，也并非只是单纯地对生产车间空间面积、墙顶地的涂装和管道铺设工程进行设计。那么半导体行业洁净室是如何规划设计的呢？

       一、信息的对接工作

       1、对接建筑基础资料信息

包括了解厂房各楼层尺寸面积、层高、有无承重柱、出入口位置等信息，同时还需要了解厂房现有洁净等级。

       2、对接生产线及生产工艺信息

       了解生产设备、作业工作台、生产流水线的尺寸大小及摆放位置；生产原料、半成品及成品的摆放位置与占地面积需要；明确人货通道、工作面积、车间内所需操作人员数量等需求。

       3、明确企业后期生产规划信息及预算费用信息

      提前了解企业研发生产的规划，便于提前做好准备，预留合适的后期升级改造空间；明确企业装修设计预算，在合理范围内进行设计规划。

       二、设计规划工作

       一般来说，半导体洁净室对洁净等级要求都较高，施工难度也随之增加。需要依据室内温湿度、产线所需洁净度、压差排风、照度风量等数据进行合理设计。如静电对半导体行业产品影响较大，会降低良品率，而干燥的环境容易产生静电，因此半导体行业的洁净室内需要对温湿度合理控制，通常将温度设置在22℃左右，相对湿度控制在50%-60%这样的范围内，能有效防止静电产生，同时提升工作人员适宜度。

万级无尘车间的特点

       洁净度等级要求高，风量、温度、湿度、压差、设备排气控制、照、照度、无尘车间截面风速按设计或规范控制，此外，无尘车间对静电要求极为严格。对湿度的要求特别高。因为太干燥的工厂很容易产生静电，导致CMOS集成损坏。电子制造业厂万级无尘车间洁净度等级要求高，风量、温度、湿度、压差、设备排气控制、照、照度、无尘车间截面风速按设计或规范控制，此外，无尘车间对静电要求极为严格。对湿度的要求特别高。因为太干燥的工厂很容易产生静电，导致CMOS集成损坏。一般来说，电子厂房的温度应控制在222℃大约，相对湿度控制在50%-60%之间(特殊清洁车间有相关的温湿度规定)。这时可以有效消除静电，让人感觉舒服。

       电子无尘车间清洁要求:

       (1)清洁室内墙体时，应使用洁净工程洁净室无尘布。

       (2)用90%去离子水和10%配置清洁剂。

       (3)使用经批准的净化工程洁净室去污剂。

       (4)每天检查无尘车间和设备间的垃圾箱，并及时清除。

       (5)每一块地板都要吸尘。并在其中。“无尘车间清洁记录”表上标明工作完成情况。例如，在哪里结束，从哪里开始。

       (6)清洁无尘净化工程洁净室地面时，应先关闭净化系统，并使用无尘室拖把。

       (7)洁净室吸尘应使用带过滤器的真空吸尘器。

       (8)所有无尘室的门窗都需要清洁、保养。

       (9)洁净室每天需要吸尘、拖地；墙面、门窗每周擦一次。

       (10)无尘车间架空地板下也要吸尘擦拭。

       (11)电子无尘车间每三个月擦拭一次架空地板下的柱子和支撑柱。

       (12)在洁净室工作时，一定要记住，总是从上到下擦，从离门远的方向擦门。